温度調節機器製品


Commitment

製品へのこだわり

お客様とのパートナーシップを重視し顧客装置の開発段階からすぐれたコンセプトを提案するとともに、熱解析技術・制御技術・電子回路設計技術を結実することにより、高精度温調が可能な温度調節機器を提供します。
List

用途別の一覧表

Water / Inert liquids

水・不活性液の温度調節

超純水加熱装置

シリコンウエハ・液晶用ガラス基板の超純水洗浄用としてユースポイントに最適な温水供給装置

用途
シリコンウエハの洗浄
液晶用ガラス基板の洗浄
その他のフロン系洗浄に代る温純水洗浄
温度設定範囲
25°C〜85°C

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循環冷却加熱装置

製品についての情報は営業本部機器営業部宛にお問い合わせください

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Chemicals

薬液の温度調節

ケミカルサーキュレータ

金属イオンの溶出汚染がないインライン型冷却加熱器により、ウェットプロセスに欠かせない薬液温度調節装置

用途
半導体製造ウェットプロセスで使用される薬液の温度管理
その他分野での各種薬液の温度管理
温度設定範囲
15°C〜50°C

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ケミカルヒータ

金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置

用途
半導体製造ウェットプロセスで使用される薬液の温度管理
メッキ液、各種表面処理液、他
温度設定範囲
25°C〜80°C

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CSヒータ

クリーン・安全・小型・効率をコンセプトとしたインライン型薬液加熱装置

用途
LSI製造プロセスでの高温処理液の加熱コントロール
その他分野での各種薬液の加熱コントロール
温度設定範囲
50°C〜170°C

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